扩散泵:这些气体喷射泵使用加热的油,该油会沸腾并捕获气态分子,并推动其他颗粒并产生真空。他们使用硅油或聚苯醚,这可能很昂贵。即使这样,这些泵仍是辛勤工作且高度可靠。
旋片泵:这些高性能泵往往是较便宜的选择,但它们也使用机油,这会增加成本。它们可以达到极限真空度并具有可变的排量,但确实需要定期维护以使其长期运行。
隔膜泵:隔膜泵不使用油,因此,它们耐腐蚀并且几乎不需要维护,结果,它们的成本更高。
混合泵:这些泵既有隔膜泵又有旋转叶片。隔膜对泵旋转部分的油保持负压,防止溶剂或污染物在油中冷凝。结果,这些泵中的机油使用寿命比其他机油泵长10倍。它们的维护成本低且耐腐蚀,因此,尽管它们的成本更高,但随着时间的推移它们往往会节省成本。
涡旋泵:涡旋泵是使用螺旋涡旋压缩空气蒸汽的干式泵。由于它们无油,因此几乎不需要维护。但是,它们确实需要较高的前期成本。每使用40000小时,也需要更换卷轴。